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(霍爾)遷移率

(霍爾)遷移率

1855
規(guī)格/型號:01
品牌:暫無
應(yīng)用領(lǐng)域:暫無
產(chǎn)地:陜西 - 西安
咨詢電話::暫無(請說明信息源自“中冶有色網(wǎng)”)
更新時間:2024-08-09
級別:已認(rèn)證

(霍爾)遷移率說明介紹

簡介 設(shè)備主要利用微波測試原理,非接觸式測量射頻HEMT結(jié)構(gòu)半導(dǎo)體材料的方阻、遷移率及載流子濃度??蓪?shí)現(xiàn)單點(diǎn)測試, 亦可以實(shí)現(xiàn)面掃描的測試功能,具有快速,無損,準(zhǔn)確等優(yōu)勢,可用于材料研發(fā)及工藝的監(jiān)測及質(zhì)量控制。 特點(diǎn) 適用于遷移率量測范圍在100cm2/V ? s~3000cm2/V ? s 的射頻HEMT外延片。非接觸,非損傷測試,具有測試速度快, 重復(fù)性佳,測試敏感性高,可以直接測試產(chǎn)品片等優(yōu)點(diǎn)。 工作原理

利用微波源發(fā)射微波通過波導(dǎo)將微波傳輸至測試樣品表面,在磁場作用下具有不同遷移率的樣品對微波的反射效果不同,

通過探測反射的微波功率再將其轉(zhuǎn)化為對應(yīng)的電導(dǎo)張量,從而建立模型可以計算出HEMT 結(jié)構(gòu)的載流子濃度和遷移率。

技術(shù)參數(shù)
選型原則
應(yīng)用案例
設(shè)備結(jié)構(gòu)
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