工作原理

Formtracer CS-3200S4采用高精度金剛石觸針（針尖半徑2μm）與閉環(huán)反饋驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)協(xié)同工作：測(cè)量時(shí)，觸針以0.5mN的恒定測(cè)量力（可調(diào)范圍0.1-10mN）沿被測(cè)表面垂直移動(dòng)，表面微觀起伏使觸針產(chǎn)生位移，該位移通過(guò)高分辨率電感傳感器（分辨率0.0001μm）轉(zhuǎn)化為電信號(hào)；閉環(huán)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)（PID控制算法）實(shí)時(shí)調(diào)整觸針位置，確保測(cè)量力恒定，消除因接觸力波動(dòng)導(dǎo)致的誤差；電信號(hào)經(jīng)24位ADC模數(shù)轉(zhuǎn)換后，由嵌入式處理器（ARM Cortex-A53）計(jì)算表面粗糙度參數(shù)（Ra、Rz、Rq等），同時(shí)支持輪廓曲線（波紋度、直線度）、波紋度（Wt、Wq）及功能參數(shù)（Mp、Ml）的同步分析；測(cè)量結(jié)果通過(guò)USB 3.0或Wi-Fi 6實(shí)時(shí)傳輸至PC端軟件，支持ISO 4287、ISO 13565、ASME B46.1等多國(guó)標(biāo)準(zhǔn)，數(shù)據(jù)可導(dǎo)出為PDF/CSV格式，兼容QC-CALC、Minitab等統(tǒng)計(jì)軟件。

應(yīng)用范圍

覆蓋多行業(yè)高精度檢測(cè)場(chǎng)景：精密制造（軸承滾道表面粗糙度、齒輪齒面形貌、液壓閥體密封面粗糙度）、汽車零部件（發(fā)動(dòng)機(jī)缸體珩磨紋、變速器同步器摩擦面、剎車盤表面波紋度）、半導(dǎo)體封裝（晶圓背面拋光粗糙度、芯片鍵合區(qū)表面形貌、引線框架鍍層粗糙度）及醫(yī)療器械（人工關(guān)節(jié)表面紋理、手術(shù)器械刃口粗糙度、植入物涂層均勻性）等，尤其適合測(cè)量超光滑表面（Ra＜0.01μm）、微結(jié)構(gòu)表面（如激光加工紋路）或易變形材料（如塑料薄膜）；支持與工業(yè)機(jī)器人聯(lián)用，實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)線在線檢測(cè)，適配節(jié)拍≤5秒/件的自動(dòng)化測(cè)量需求；可選配激光干涉儀校準(zhǔn)模塊，將測(cè)量不確定度優(yōu)化至0.001μm（符合ISO 10360-7標(biāo)準(zhǔn)），滿足實(shí)驗(yàn)室級(jí)計(jì)量要求。

技術(shù)參數(shù)

測(cè)量范圍：縱向80μm（可擴(kuò)展至800μm），橫向200mm（可擴(kuò)展至1000mm）；分辨率：0.0001μm；重復(fù)性：±0.0005μm；觸針針尖半徑：2μm（可選1μm/5μm）；測(cè)量力：0.1-10mN（可調(diào)）；驅(qū)動(dòng)速度：0.05-2mm/s（可調(diào)）；工作溫度：15℃~35℃；工作濕度：20%~70%RH（無(wú)冷凝）；電源：AC100-240V 50/60Hz；重量：15kg（主機(jī)）；防護(hù)等級(jí)：IP40；兼容軟件：Form Master、PolyWorks、GageMaster。

產(chǎn)品特點(diǎn)

全系列通過(guò)日本AIST計(jì)量認(rèn)證，閉環(huán)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)使測(cè)量力波動(dòng)＜0.01mN，數(shù)據(jù)穩(wěn)定性較開(kāi)環(huán)系統(tǒng)提升5倍；智能分析算法支持300+表面參數(shù)自動(dòng)計(jì)算，涵蓋傳統(tǒng)粗糙度、功能參數(shù)及三維形貌參數(shù)，滿足全場(chǎng)景評(píng)價(jià)需求；一鍵式操作界面（7英寸觸摸屏）集成測(cè)量、分析、報(bào)告生成全流程，操作門檻降低70%；模塊化設(shè)計(jì)支持觸針、驅(qū)動(dòng)單元快速更換，適配不同粗糙度范圍檢測(cè)需求；配備自清潔空氣吹掃系統(tǒng)與恒溫控制模塊，可有效過(guò)濾0.5μm以上顆粒物并維持20℃±0.5℃測(cè)量環(huán)境，確保數(shù)據(jù)一致性。Formtracer CS-3200S4以“納米級(jí)精度、全功能評(píng)價(jià)”的特性，成為表面形貌檢測(cè)的標(biāo)桿設(shè)備。