工作原理

218系列采用高精度激光干涉?zhèn)鞲衅鳎úㄩL632.8nm）與閉環(huán)驅(qū)動系統(tǒng)協(xié)同工作：測量時，傳感器發(fā)射的激光束經(jīng)分光鏡分為兩束，一束照射被測表面，反射光與參考光干涉形成信號條紋，通過光電探測器（分辨率0.0001μm）轉(zhuǎn)換為電信號；嵌入式DSP處理器（TI TMS320C6678）實(shí)時分析信號頻率變化，結(jié)合傳感器垂直位移數(shù)據(jù)（由直線電機(jī)驅(qū)動，定位精度±0.1μm），計(jì)算表面輪廓算術(shù)平均偏差Ra、最大高度Rz等14項(xiàng)參數(shù)；驅(qū)動系統(tǒng)搭載壓電陶瓷微調(diào)模塊（響應(yīng)時間＜1ms）與真空吸附測針（接觸力0.01-0.5N可調(diào)），可自動跟蹤曲面輪廓（曲率半徑≥2mm），避免傳統(tǒng)機(jī)械測針的劃傷風(fēng)險；測量數(shù)據(jù)通過千兆以太網(wǎng)實(shí)時傳輸至PC或工業(yè)觸摸屏（10.1英寸，分辨率1920×1200），支持ISO 4287、GB/T 3505等標(biāo)準(zhǔn)分析，并生成包含3D形貌圖、參數(shù)統(tǒng)計(jì)、趨勢曲線的檢測報(bào)告，數(shù)據(jù)可導(dǎo)出為DXF/CSV格式，兼容MATLAB、LabVIEW等二次開發(fā)平臺。

應(yīng)用范圍

覆蓋多行業(yè)表面質(zhì)量檢測場景：機(jī)械加工（軸承滾道表面粗糙度、齒輪齒面紋理、模具型腔光潔度）、汽車制造（發(fā)動機(jī)缸體珩磨網(wǎng)紋、曲軸軸頸拋光質(zhì)量、剎車盤表面處理層均勻性）、航空航天（渦輪葉片氣膜孔粗糙度、鈦合金結(jié)構(gòu)件噴丸強(qiáng)化效果、復(fù)合材料層間結(jié)合面質(zhì)量）及電子半導(dǎo)體（晶圓表面拋光精度、陶瓷基板鍍層附著力、手機(jī)中框陽極氧化層粗糙度）等，尤其適合檢測微小區(qū)域（如螺紋牙底、鍵槽側(cè)面）、異形曲面（如自由曲面鏡片、渦輪增壓器葉輪）或超光滑表面（Ra＜0.01μm）；支持與三坐標(biāo)測量機(jī)、工業(yè)機(jī)器人聯(lián)用，實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)線在線檢測，適配節(jié)拍≤3秒/件的自動化測量需求；可選配白光干涉模塊（垂直分辨率0.0001μm）與低溫冷卻裝置（最低-20℃），擴(kuò)展至納米級粗糙度測量與低溫環(huán)境檢測。

技術(shù)參數(shù)

測量范圍：Ra 0.001-16μm，Rz 0.005-160μm；分辨率：0.0001μm；重復(fù)性：±0.001μm；傳感器類型：激光干涉/接觸式（可選）；測量速度：0.1-10mm/s；采樣長度：0.08-10mm；垂直行程：200mm；水平行程：150mm；工作溫度：5℃~45℃；工作濕度：10%~90%RH（無冷凝）；電源：AC100-240V 50/60Hz；重量：25kg（主機(jī)）；防護(hù)等級：IP54；兼容標(biāo)準(zhǔn)：ISO 4287、GB/T 3505、ASME B46.1。

產(chǎn)品特點(diǎn)

全系列通過英國NPL計(jì)量認(rèn)證，激光干涉?zhèn)鞲屑夹g(shù)使測量效率提升5倍，人工干預(yù)減少95%；閉環(huán)驅(qū)動系統(tǒng)與AI算法補(bǔ)償組合實(shí)現(xiàn)納米級輪廓跟蹤，重復(fù)測量誤差較傳統(tǒng)設(shè)備降低80%；模塊化設(shè)計(jì)支持傳感器、驅(qū)動單元快速更換，適配不同測量需求；配備自清潔空氣過濾系統(tǒng)與恒溫控制模塊（溫度波動＜0.5℃/h），可有效過濾0.3μm以上顆粒物并維持20℃±1℃測量環(huán)境，確保數(shù)據(jù)穩(wěn)定性；10.1英寸觸摸屏集成一鍵測量、自動校準(zhǔn)與遠(yuǎn)程診斷功能，操作門檻降低85%。218系列以“亞微米級精度、毫秒級響應(yīng)”的特性，成為工業(yè)表面質(zhì)量檢測的標(biāo)桿設(shè)備。