工作原理

ALW-600B采用布拉格衍射原理：X射線管（如Cu靶，波長1.54?）發(fā)射單色X射線，照射藍寶石晶棒后產(chǎn)生衍射；測角儀同步旋轉(zhuǎn)樣品與探測器，記錄特定晶面（如0001面）的衍射角（θ值）。通過布拉格方程（2d sinθ = nλ）計算晶面間距（d），結(jié)合藍寶石（α-Al?O?，六方晶系）的晶體結(jié)構(gòu)參數(shù)，精準確定晶棒的C軸方向，確保粘棒工藝的軸向精度≤0.1°，符合GB/T 33219-2016標準要求。

應(yīng)用范圍

該產(chǎn)品適用于LED行業(yè)藍寶石襯底制備的粘棒定向（確保晶片切割方向與C軸平行）；光學(xué)領(lǐng)域加工藍寶石窗口、透鏡的晶體取向控制；半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)制造GaN基外延片的襯底定向。其高精度定向能力支持藍寶石粘棒工藝的自動化與標準化，是LED芯片廠、光學(xué)元件廠商及科研院所的關(guān)鍵設(shè)備。

產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)

晶體材料：藍寶石（α-Al?O?）

定向精度：≤0.1°（C軸方向）

測角儀范圍：θ 0°～60°（連續(xù)掃描）

分辨率：0.001°（θ）

掃描速度：0.01°～50°/分鐘（可調(diào)）

探測器：閃爍計數(shù)器或半導(dǎo)體探測器

X射線管：Cu靶（Kα，λ=1.5406?），功率≤500W

數(shù)據(jù)輸出：衍射角、晶軸偏差、合格判定

接口：USB 3.0、以太網(wǎng)、VGA

電源：AC 220V±10%，50Hz，功率≤1000W

工作環(huán)境：5～40℃，濕度≤85%RH

外形尺寸：800×600×1200mm（嵌入式機柜）

產(chǎn)品特點

高精度晶體定向：0.001°分辨率測角儀，精準控制藍寶石晶棒C軸偏差，確保后續(xù)加工性能。

嵌入式工業(yè)設(shè)計：集成工業(yè)電腦與觸控屏，支持自動掃描、數(shù)據(jù)分析與報告生成，適配生產(chǎn)線在線檢測。

快速檢測能力：單次掃描時間≤30秒，兼容藍寶石粘棒工藝的批量檢測需求。

智能校準與穩(wěn)定性：內(nèi)置標準樣品自動校準功能，長期運行角度偏差≤0.02°，保障檢測可靠性。

合規(guī)性保障：符合GB/T 33219-2016《多晶體X射線衍射方法通則》及ISO 13767-2013標準，測量數(shù)據(jù)可直接用于工藝控制與科研分析。