一、設(shè)備用途：

氣相滲透爐主要用于CVD和CVI工藝制備C/C、C/SIC及SIC/SIC復(fù)合材料，力學(xué)性能優(yōu)異，適用于航空航天級別碳基及SIC基復(fù)合材料，該設(shè)備可用于縱項(xiàng)目SIC包殼管的研制。

C/C復(fù)合材料，C/SIC陶瓷基復(fù)合材料，熱解碳涂層，SIC涂層，以及SIC/SIC復(fù)合材料制備。

二、設(shè)備特點(diǎn)：

1 立式結(jié)構(gòu)，雙層水冷結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，爐殼用耐腐蝕材料制成。

2 獨(dú)特的內(nèi)罩進(jìn)排氣結(jié)構(gòu)，熱場溫度均勻性好。

3 氣氛控制精確，真空系統(tǒng)配有過濾器，可選配尾氣處理系統(tǒng)。

4 控制系統(tǒng)采用PLC加觸摸屏控制方式，操作方便，簡單。

5 主要電器元件采用施耐德及歐姆龍品牌，性能穩(wěn)定、可靠。

三、主要技術(shù)參數(shù)：