型號:SL-QHGX-Y(其中:X組元?dú)怏w數(shù);Y外供氣體氣路數(shù))
規(guī)格和技術(shù)參數(shù):
系統(tǒng)工作壓力:≤0.2~0.8 MPa
單路保護(hù)氣體流量:5~500 /min
保護(hù)氣體流量控制精度:±1.0%F.S
成膜氣體濃度:0.1~0.5 wt.%
流量調(diào)節(jié)響應(yīng)時(shí)間:1s
調(diào)控技術(shù):碩龍智能集成控制
組元?dú)怏w控制數(shù)量:<6
外供氣體路數(shù):50