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VPSA制氧系統(tǒng)主要由鼓風(fēng)機(jī)、真空泵、切換閥、吸附器和氧氣緩沖罐組成。原料空氣經(jīng)吸入口過濾器除掉灰塵顆粒后,被羅茨鼓風(fēng)機(jī)增壓之30-50KPa而進(jìn)入其中一只吸附塔內(nèi),隨后氮?dú)獗谎b填于活性氧化鋁所吸附,隨后氮?dú)獗谎b填于活性氧化鋁上部的沸石分子篩所吸附。而氧氣(包括氬氣)為非吸附組分從吸附器頂部出口處作為產(chǎn)品器排至氧氣緩沖罐。當(dāng)該吸附器吸附到一定程度,其中的吸附劑將達(dá)到飽和狀態(tài),此時(shí)通過切換閥利用真空泵對之進(jìn)行抽真空(與吸附方向相反),真空度為60-75Pa。已吸附的水分、二氧化碳、氮?dú)饧吧倭科渌麣怏w組分被抽出并排至打齊,吸附劑得到再生。