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單晶爐排氣管道

710   編輯:中冶有色網(wǎng)   來(lái)源:遼寧博芯科半導(dǎo)體材料有限公司  
2024-01-16 15:16:41
權(quán)利要求書(shū): 1.一種單晶爐排氣管道,包括固定連接的連接管(1)和豎直管(2),其特征在于:所述連接管(1)和豎直管(2)的側(cè)壁分別開(kāi)設(shè)有第一通孔(5)和第二通孔(6),所述連接管(1)和豎直管(2)的外側(cè)壁分別裝配有第一保護(hù)組件(3)和第二保護(hù)組件(4),所述豎直管(2)的底端通過(guò)固定螺栓(7)固定裝配有封蓋(8),所述豎直管(2)的頂端通過(guò)固定螺絲(10)固定裝配有端蓋(9)。 2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶爐排氣管道,其特征在于:所述第一保護(hù)組件(3)包括第一安裝座(31),所述第一安裝座(31)一體成型于連接管(1)的側(cè)壁,所述第一安裝座(31)內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第一保護(hù)罩(32),所述第一保護(hù)罩(32)的側(cè)壁均勻開(kāi)設(shè)有第一連接孔(33),所述第一保護(hù)罩(32)的兩端分別開(kāi)設(shè)有第一卡槽(34),所述第一安裝座(31)的頂部插接有貫穿至第一卡槽(34)內(nèi)的第一卡銷(xiāo)(35),所述第一保護(hù)罩(32)的側(cè)壁固定連接有第一固定板(36)。 3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶爐排氣管道,其特征在于:所述第二保護(hù)組件(4)包括第二安裝座(41),所述第二安裝座(41)一體成型于豎直管(2)的側(cè)壁,所述第二安裝座(41)內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第二保護(hù)罩(42),所述第二保護(hù)罩(42)的側(cè)壁開(kāi)設(shè)有第二連接孔(43),所述第二保護(hù)罩(42)的頂部開(kāi)設(shè)有第二卡槽(44),所述第二安裝座(41)的頂部插接有貫穿至第二卡槽(44)內(nèi)的第二卡銷(xiāo)(45),所述第二保護(hù)罩(42)的側(cè)壁固定連接有第二固定板(46)。 4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶爐排氣管道,其特征在于:所述第一通孔(5)均勻開(kāi)設(shè)在連接管(1)的頂部側(cè)壁,所述第二通孔(6)呈軸對(duì)稱均勻開(kāi)設(shè)在豎直管(2)的側(cè)壁。 5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶爐排氣管道,其特征在于:所述端蓋(9)包括底座(91),所述底座(91)通過(guò)固定螺絲(10)與豎直管(2)的頂端相固定連接,所述底座(91)的頂部通過(guò)支撐軸(92)固定連接有頂部固定座(93),所述頂部固定座(93)的頂部裝配有頂部蓋體(94),所述頂部蓋體(94)的底部固定連接有貫穿至支撐軸(92)內(nèi)腔的伸縮軸(95)。 說(shuō)明書(shū): 一種單晶爐排氣管道技術(shù)領(lǐng)域[0001] 本實(shí)用新型涉及單晶爐技術(shù)領(lǐng)域,具
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