權(quán)利要求
1.一種碲化鎘晶體退火裝置,包括退火爐(1)和設(shè)置在退火爐(1)中的上料組件,其特征在于,所述退火爐(1)的兩端開口處的內(nèi)壁安裝有外密封圈(2),所述退火爐(1)的上方兩內(nèi)壁分別安裝有真空管(11)和氬氣管(12),所述退火爐(1)的內(nèi)部安裝有電熱絲(17),所述退火爐(1)的兩端內(nèi)側(cè)壁卡設(shè)有定位槽(18),所述定位槽(18)的內(nèi)壁安裝有內(nèi)密封圈(21),所述退火爐(1)的底部安裝有固定座(13),所述固定座(13)的兩端分別安裝有螺桿(15)和導(dǎo)向桿(16),所述固定座(13)一端靠近螺桿(15)的側(cè)壁安裝有電機(jī)(14);
所述上料組件包括安裝座(3)、第一固定桿(32)、外密封板(321)、第二固定桿(33)和內(nèi)密封板(331),所述安裝座(3)的兩側(cè)壁分別和第一固定桿(32)及第二固定桿(33)固定連接,所述內(nèi)密封板(331)和另一個上料組件的第二固定桿(33)的一端固定連接,兩個所述上料組件公用同個內(nèi)密封板(331),所述安裝座(3)的上方開設(shè)有三個凹槽(31),所述外密封板(321)的側(cè)壁安裝有對稱的滑塊(322),其中一個所述滑塊(322)的內(nèi)壁和螺桿(15)的外壁螺紋連接,另一個所述滑塊(322)的內(nèi)壁和導(dǎo)向桿(16)的外壁滑動連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種碲化鎘晶體退火裝置,其特征在于,所述真空管(11)和氬氣管(12)的管道一端分別安裝有閥門,所述真空管(11)外接真空泵。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種碲化鎘晶體退火裝置,其特征在于,所述螺桿(15)的兩端分別和兩個上料組件中外密封板(321)外側(cè)滑塊(322)的內(nèi)壁轉(zhuǎn)動連接,所述螺桿(15)的一端和電機(jī)(14)的輸出端固定連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種碲化鎘晶體退火裝置,其特征在于,兩個所述外密封板(321)的一側(cè)外壁分別和退火爐(1)兩端外側(cè)壁中的外密封圈(2)密封連接,所述內(nèi)密封板(331)的外壁和內(nèi)密封圈(21)的外壁密封連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種碲化鎘晶體退火裝置,其特征在于,兩個所述外密封板(321)的一側(cè)外壁開設(shè)有兩組對稱的密封槽(38),所述密封槽(38)的一側(cè)開設(shè)有穿透的通槽(381),所述固定座(13)的兩側(cè)內(nèi)壁安裝有兩組和通槽(381)內(nèi)壁滑動連接的滑桿(131
聲明:
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我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)