本發(fā)明涉及冶金法多晶硅提純技術(shù)領(lǐng)域,特別是涉及一種多晶硅渣洗除硼工藝。其技術(shù)方案是采用冶金法渣洗除硼,利用前后兩次相同復(fù)合渣劑預(yù)熔成渣劑熔池,加入工業(yè)硅熔化,硅液中的B與渣劑發(fā)生氧化反應(yīng),使B形成多元渣相,通過渣金分離,去除硅中的B雜質(zhì),可得到硼的含量達(dá)到0.15ppmw的太陽能級高純度多晶硅。本發(fā)明工藝操作簡單,成本低,裝置由傳統(tǒng)中頻爐組合改造而成,所使用后的渣劑再添加新的SiO2、CaO可反復(fù)使用,有利于大規(guī)模產(chǎn)業(yè)化推廣。