本發(fā)明提供了一種NiMnX(X＝In、Ga、Sn，其中少量Ni元素可以由Co元素替代)合金靶材的制備方法。該方法將熔煉鑄造法與粉末冶金法相結(jié)合，首先利用熔煉鑄造法制備N(xiāo)i-Mn-X合金錠，以提高合金密度，并且提高合金純度，然后將合金錠研磨成合金粉，以提高合金的熔點(diǎn)，最后利用粉末冶金法制備N(xiāo)iMnX合金靶材。與現(xiàn)有技術(shù)中單純采用熔煉鑄造法或粉末冶金法制備N(xiāo)iMnX靶材的方法相比，本發(fā)明利用了這兩種方法的優(yōu)點(diǎn)，同時(shí)有效避免了這兩種方法的不足，能夠制得具有晶粒小、不易開(kāi)裂、成分均勻、雜質(zhì)含量低的高性能合金靶材。