本發(fā)明公開(kāi)了一種鎳鉑合金濺射靶材及其制備方法，其技術(shù)方案是：包括鉑粉和鎳粉，所述鉑粉和鎳粉質(zhì)量份數(shù)為：鉑粉05?65份，鎳粉35?95份。包括以下步驟：S1：將鉑粉和鎳粉混合均勻，并過(guò)濾大顆粒雜質(zhì)，保留大小均等的粉末狀顆粒；S2：將S1中過(guò)濾后保留下來(lái)的粉末顆粒倒入酒精內(nèi)浸泡清洗，一種鎳鉑合金濺射靶材及其制備方法有益效果是：通過(guò)使用粉末冶金的方式，區(qū)別于傳統(tǒng)的熔煉方法，粉末冶金得到的鎳鉑合金靶材具有更好的致密度，在實(shí)際使用測(cè)試中，其與基材擁有更好的附著性能，使用更加方便可靠，同時(shí)粉末冶金相對(duì)于傳統(tǒng)熔煉方法，使得其制備成本大大降低，制備步驟得到極大優(yōu)化，提高了制備效率，簡(jiǎn)化了制備流程，從而提高其經(jīng)濟(jì)效益。