本實(shí)用新型涉及一種靶材，具體涉及一種鑲嵌式濺射靶材，包括基板，基板與冷卻背板相連，圓柱狀嵌體嵌入到基板和冷卻背板的內(nèi)部，圓柱狀嵌體設(shè)置在基板上表面橫向中心線的一側(cè)，基板和冷卻背板上設(shè)置有臺(tái)階孔。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單，易于加工，節(jié)約材料，成本低，并可達(dá)到熔煉或粉末冶金靶材相同的濺射效果。