本發(fā)明公開了一種去除多晶硅中硼的方法，包括：將工業(yè)硅熔融后從反應(yīng)坩堝頂部噴灑而下，將混合氣體從下往上輸送與熔融的工業(yè)硅接觸反應(yīng)，同時(shí)將反應(yīng)后的氣體及時(shí)抽去；所述混合氣體由載氣和氧化性氣體組成，所述氧化性氣體為氫氣、水蒸氣和氧氣中的一種或多種。本發(fā)明改變傳統(tǒng)直接將氧化性氣體通入硅液的方法，而是將硅液通過(guò)噴灑自由落下，而氧化性氣體從底部向上輸送，兩者在中間位置接觸反應(yīng)，增加接觸面積，提高了硼等非揮發(fā)性元素的去除效率。