本發(fā)明一種多晶硅除磷裝置及方法，該裝置包括真空室，所述真空室內(nèi)設(shè)有石墨坩堝，所述石墨坩堝外設(shè)有保溫套，所述保溫套外周面纏繞有感應(yīng)線圈，所述石墨坩堝下方設(shè)有石墨墊，石墨墊下方設(shè)有水冷盤，所述水冷盤連接收料桿，所述石墨坩堝由上至下分為熔融段、蒸發(fā)段和凝固段，所述熔融段與蒸發(fā)段之間有隔板，所述隔板上有供硅液通過的進(jìn)料孔，進(jìn)料孔處安裝有可活動(dòng)的擋板，所述蒸發(fā)段內(nèi)部設(shè)有若干水平交錯(cuò)設(shè)置的折流板，底部設(shè)有出料孔；所述凝固段的內(nèi)腔為錐形，底部石墨墊密封配合。本發(fā)明通過將硅液通過折流板自然下落，在下落過程中，硅液表面積增加，提高了蒸發(fā)除雜的效果，而且成本控制較好。