本發(fā)明公開了一種從鍺晶片精深加工廢酸中回收鍺的工藝方法，其包括以下步驟：步驟S10、鍺晶片精深加工廢酸經(jīng)預處理除去氟并調(diào)節(jié)pH值后得到堿性含鍺溶液；步驟S20、將堿性含鍺溶液通過納濾膜過濾，透過納濾膜過濾將堿性含鍺溶液分為透過納濾膜的透過液和未透過納濾膜的截留液；步驟S30、透過液經(jīng)蒸發(fā)濃縮、冷卻析晶得到硝酸鈉晶體，冷卻母液回用于步驟S10中調(diào)節(jié)PH值工段；截留液經(jīng)蒸發(fā)結(jié)晶得到鍺精礦，鍺精礦經(jīng)氯化蒸餾回收鍺。該工藝方法工藝簡單、耗時短、自動化程度高、可實現(xiàn)連續(xù)化操作，藥劑使用量少、鍺回收率高，且所回收得到的鍺精礦中鍺的含量大于等于15％。