本實(shí)用新型公開(kāi)了一種多晶硅定向提純爐，屬于多晶硅的提純領(lǐng)域，用以解決多晶硅熔煉過(guò)程中的高溫?fù)]發(fā)性雜質(zhì)對(duì)多晶硅定向提純爐、真空泵組造成損害的問(wèn)題。本實(shí)用新型包括爐體和真空抽氣裝置，所述真空抽氣裝置包括真空管路、安裝在真空管路上的比例閥和滑閥泵，真空管路上設(shè)置換熱器和過(guò)濾器，換熱器、過(guò)濾器、比例閥和滑閥泵按照爐體內(nèi)氣體排出方向依次設(shè)置。其解決了爐體內(nèi)高溫?fù)]發(fā)性雜質(zhì)高溫、沉積從而對(duì)爐體的造成損害的問(wèn)題，延長(zhǎng)了整個(gè)設(shè)備的使用壽命。