本實(shí)用新型公開了一種去除多晶硅中磷和硼的裝置,包括真空室以及設(shè)于真空室內(nèi)的石墨坩堝,所述石墨坩堝內(nèi)部安裝有旋轉(zhuǎn)通氣機(jī)構(gòu),所述旋轉(zhuǎn)通氣機(jī)構(gòu)由豎直設(shè)置作為轉(zhuǎn)軸的進(jìn)氣管以及若干同心布置的環(huán)形管組成,所述進(jìn)氣管通過環(huán)形管的中心,并與所有的環(huán)形管交叉連通,每根環(huán)形管的管壁均開設(shè)有出氣孔。本實(shí)用新型旋轉(zhuǎn)通氣機(jī)構(gòu)由多個(gè)環(huán)形管和進(jìn)氣管組成,環(huán)形管為豎直設(shè)置,在轉(zhuǎn)動(dòng)過程中,可以讓氣體及時(shí)分布于石墨坩堝的各個(gè)位置,讓硼盡快形成熔渣去除,從而減少氣體用量,降低成本。
聲明:
“去除多晶硅中磷和硼的裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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