本發(fā)明涉及半導(dǎo)體用高純鉭靶材的粉末冶金制備方法，尤其是一種用粉末冶金法制備高性能鉭靶材的方法。其特點(diǎn)是，包括如下步驟：(1)將要燒結(jié)的鉭粉末裝入模具中；(2)將模具放入電火花燒結(jié)爐中對粉末進(jìn)行放電等離子燒結(jié)；(3)燒結(jié)結(jié)束后，冷卻至不超過160℃后出爐，脫模；(4)對得到的鉭靶坯機(jī)械加工成所需尺寸即可。采用本發(fā)明的方法可以得到粒度均勻、無織構(gòu)的內(nèi)部組織，提高靶材性能，本發(fā)明方法還具有燒結(jié)溫度低，可快速燒結(jié)出致密鉭靶材，靶材內(nèi)部晶粒均勻細(xì)小，無擇優(yōu)取向等特點(diǎn)。