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基于軸向磁場及超聲處理制備太陽能級(jí)多晶硅的方法

1077   編輯:管理員   來源:中冶有色網(wǎng)  
2023-03-18 14:45:28
一種基于軸向磁場及超聲處理制備太陽能級(jí)多晶硅的方法,將冶金硅表面酸洗、蒸餾水清洗,干燥;將預(yù)處理的冶金硅裝進(jìn)高純石英坩堝內(nèi)并放入定向凝固爐中,抽真空;將爐溫升高至1200~1350℃,保溫;向爐腔充入惰性氣體;升溫至1500~1650℃,保溫;得到硅熔體;將爐溫降至1420~1570℃;引入軸向磁場和高能超聲到硅熔體中;將坩堝以1~20μm/s的速率抽拉出加熱區(qū),開始長晶;長晶結(jié)束后,關(guān)閉勵(lì)磁系統(tǒng)和停止超聲處理,將爐腔內(nèi)溫度降至1000~1300℃;關(guān)閉加熱系統(tǒng),冷卻。本發(fā)明得到的多晶硅材料組織中硅晶粒粗大且垂直于坩堝底部,缺陷少,雜質(zhì)含量低;工藝成本低、簡單;安全可靠、無污染;操作方便。
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