一種通過素坯破碎過篩提高ITO粉末松裝密度和振實密度的方法，屬于粉末冶金技術(shù)領(lǐng)域。將已制成的ITO粉末進行模具壓制成素坯后，對素坯破碎過篩混合，以達到快速提高粉末松裝密度和振實密度的目的，處理后的ITO粉末完全滿足目前制備高密度ITO燒結(jié)體之需要。此方法處理得到的ITO粉完全適用并有利于模壓和等靜壓制成素坯，在壓制過程中將有效減少ITO素坯斷裂、掉邊等情況，提高ITO靶材成品率和密度。