本發(fā)明提供的制備高純氯硅烷的方法，通過冶金級硅與氯化氫反應(yīng)制備得到的氯硅烷，通過粗精餾將大部分硼磷雜質(zhì)去除，再通過吸附將剩下的極少量的硼磷雜質(zhì)去除，同時通過對吸附劑的種類搭配選用，降低吸附劑的更換頻率，實現(xiàn)低成本的提純氯硅烷，同時簡化操作程序，從而適合工業(yè)化。該方法能高效除去氯硅烷中硼磷雜質(zhì)，減少精餾程序，并延長吸附劑使用壽命長，降低成本，以適合工業(yè)化。