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選擇性發(fā)射極的制備方法及太陽能電池的制備方法

834   編輯:管理員   來源:中冶有色網(wǎng)  
2023-03-18 14:50:34
本發(fā)明公開了一種選擇性發(fā)射極的制備方法,包括:S01、對(duì)制絨后的N型硅片的正面進(jìn)行硼擴(kuò)散;S02、去除硼硅玻璃;S03、在硅片正面絲網(wǎng)印刷納米硼漿,并烘干;S04、利用皮秒激光進(jìn)行納米硼漿推進(jìn),在硅片的電極區(qū)域形成選擇性重?fù)诫s;S05、去除殘留的納米硼漿。本發(fā)明采用絲網(wǎng)印刷納米硼漿,并借助皮秒激光摻雜設(shè)備實(shí)現(xiàn)硅片的電極區(qū)域的納米硼漿的激光推進(jìn),可以選用能量較低的皮秒激光進(jìn)行推進(jìn),減少了激光推進(jìn)對(duì)硅基體的損傷,也方便更好的控制推進(jìn)程度,使硅片與電極接觸區(qū)域達(dá)到預(yù)期的方阻值,提高了電池性能,很好地彌補(bǔ)了選擇性發(fā)射極與P型PERC電池工藝結(jié)合的缺陷。并且,納米硼漿通過激光熔覆后更容易同基體材料形成良好的冶金結(jié)合。
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