本發(fā)明公開了一種選擇性發(fā)射極的制備方法,包括:S01、對(duì)制絨后的N型硅片的正面進(jìn)行硼擴(kuò)散;S02、去除硼硅玻璃;S03、在硅片正面絲網(wǎng)印刷納米硼漿,并烘干;S04、利用皮秒激光進(jìn)行納米硼漿推進(jìn),在硅片的電極區(qū)域形成選擇性重?fù)诫s;S05、去除殘留的納米硼漿。本發(fā)明采用絲網(wǎng)印刷納米硼漿,并借助皮秒激光摻雜設(shè)備實(shí)現(xiàn)硅片的電極區(qū)域的納米硼漿的激光推進(jìn),可以選用能量較低的皮秒激光進(jìn)行推進(jìn),減少了激光推進(jìn)對(duì)硅基體的損傷,也方便更好的控制推進(jìn)程度,使硅片與電極接觸區(qū)域達(dá)到預(yù)期的方阻值,提高了電池性能,很好地彌補(bǔ)了選擇性發(fā)射極與P型PERC電池工藝結(jié)合的缺陷。并且,納米硼漿通過激光熔覆后更容易同基體材料形成良好的冶金結(jié)合。
聲明:
“選擇性發(fā)射極的制備方法及太陽能電池的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)