本發(fā)明提供了一種鉭靶材的制備工藝，包括以下步驟：A)，將鉭粉進(jìn)行等靜壓成型，得到鉭坯；B)，將所述鉭坯進(jìn)行燒結(jié)，將燒結(jié)得到的鉭坯進(jìn)行軋制，將軋制得到的鉭坯進(jìn)行熱處理，得到鉭靶材。本發(fā)明通過粉末冶金的方法制得了鉭靶材加工坯料，其優(yōu)點(diǎn)是內(nèi)部組織細(xì)小均勻，并得到了無織構(gòu)的內(nèi)部組織；再通過壓力加工工藝與熱處理工藝，獲得了細(xì)小且均勻一致的內(nèi)部組織，得到了滿足高端濺射機(jī)臺(tái)使用的鉭靶材要求。