本發(fā)明公開了一種碲硒砷鎘化合物/靶材及制備方法，由摩爾比為(60?90):(0.999?39.99):(0.001～0.01)的碲化鎘顆粒、碲硒鎘顆粒和砷化鎘顆粒研磨成粉、混勻，將混勻的物料裝入石墨坩堝中，或者將混勻的物料放入模具中室溫壓片成靶材坯，壓片成形的靶材坯裝入石墨治具內(nèi)，石墨治具放入真空燒結(jié)爐內(nèi)，在真空燒結(jié)爐內(nèi)壓實，真空狀態(tài)加熱燒結(jié)，自然降溫至室溫，打開真空燒結(jié)爐即得到碲硒砷鎘化合物/靶材。上述制備方法能夠適應(yīng)市場規(guī)模化生產(chǎn)需求，工序簡單、環(huán)境友好。制備出的碲硒砷鎘化合物結(jié)晶度好，制備出的碲硒砷鎘靶材相對密度高于90％（晶粒尺寸小于300nm）。