本發(fā)明提供了一種重稀土金屬靶材修復(fù)方法，屬于磁控濺射表面處理技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明提供的重稀土金屬靶材修復(fù)方法，包括以下步驟：將合金粉填充到待修復(fù)靶材的損耗區(qū)，采用真空燒結(jié)法或高壓冷噴涂法進(jìn)行修復(fù)；所述合金粉包括鏑鋱合金，或者，鏑鋱的一種或兩種和兩性金屬中的一種或兩種。本發(fā)明以合金粉為修復(fù)材料，采用真空燒結(jié)法或高壓冷噴涂法進(jìn)行修復(fù)，合金粉起到了釬焊作用，降低了后續(xù)靶材修復(fù)時的燒結(jié)溫度，而且降低了磁片鍍膜后的擴散溫度，降低了修復(fù)難度和成本。本發(fā)明修復(fù)后的靶材組織有效解決了現(xiàn)有靶材表面產(chǎn)生缺陷后無法再利用的問題；且工藝簡單、周期短、使用效果接近新靶材，具有良好的應(yīng)用價值。