本發(fā)明公開了一種二硫化錫/三硫化二錫/硫化亞錫異質(zhì)結(jié)薄膜的制備方法，先用磁控濺射儀在FTO導(dǎo)電玻璃上濺射不同厚度的Sn，稱取不同量的硫粉，在管式爐中硫化得到SnS2，用無水乙醇、蒸餾水各洗滌3次，真空干燥。再用磁控濺射儀上在SnS2導(dǎo)電玻璃上濺射Sn，放在管式爐中真空燒結(jié)，得到目標產(chǎn)物。本法用磁控濺射的方法得到致密的Sn，在真空下燒結(jié)通過固相反應(yīng)得到目標產(chǎn)物。本方法操作簡單，對環(huán)境無污染，反應(yīng)周期短，形成致密的薄膜。