本發(fā)明公開了一種生產(chǎn)低氧鉬鈮合金靶材的方法，包括以下步驟：1、將鉬粉放在真空燒結(jié)爐中進(jìn)行熱處理；2、將鈮金屬粉與堿金屬鹵化物MX均勻混合得到混合粉；3、將步驟1中得到的鉬粉與步驟2得到的混合粉放入V型混料機(jī)中混合，放入膠套后通過冷等靜壓壓制成型；4、將壓錠放在真空?氫氣兩用燒結(jié)爐中進(jìn)行熱處理。本發(fā)明相對于現(xiàn)有技術(shù)，該方法除氧成本低，效果好，所得鉬鈮合金靶材雜質(zhì)、氧含量低，性能優(yōu)異。