本發(fā)明屬于高溫難熔金屬靶材制備領(lǐng)域，具體涉及一種高致密度鉬鈮合金濺射靶材的制備工藝，該工藝包括如下步驟：原料混合；膠套裝粉作業(yè)；冷等靜壓作業(yè)，升壓至一定壓力后，保壓一段時(shí)間，然后泄壓，最后將壓制坯從膠套取出；真空燒結(jié)或氫氣保護(hù)燒結(jié)；熱等靜壓作業(yè)，對燒結(jié)坯直接進(jìn)行熱等靜壓作業(yè)；熱軋作業(yè)，對鉬鈮合金進(jìn)行金屬包套軋制，熱軋后退火去除應(yīng)力；進(jìn)行磨削等機(jī)加工作業(yè)，得到最終所需產(chǎn)品尺寸。該工藝步驟簡單，操作便捷，制備的鉬鈮合金濺射靶材純凈度、相對密度均滿足高端電子產(chǎn)品鍍膜領(lǐng)域使用需求，且生產(chǎn)成本低，產(chǎn)品尺寸寬泛，便于工業(yè)化批量生產(chǎn)。