本發(fā)明公開了一種高電阻率碳化硅陶瓷及其制備方法，其特征在于，由下列重量份的原料制成：碳化硅70-80、二甲基硅油2-3、預(yù)膠化淀粉2-4、二氧化鍺4-6、乳白玻璃2-4、無水乙醇15-20、氧化聚乙烯蠟2-3、短切碳纖維預(yù)分散體14-18、燒結(jié)助劑3-4、去離子水80-90；本發(fā)明添加的短切碳纖維提高碳化硅的力學(xué)性能，提高陶瓷的斷裂韌性，提高素坯的強(qiáng)度和致密度，滿足機(jī)械加工要求，本發(fā)明碳化硅陶瓷復(fù)合材料熱導(dǎo)率高，抗熱震性好，耐腐蝕，使用壽命長；工藝簡單，操作安全，不造成污染，采用真空燒結(jié)制備的碳化硅陶瓷復(fù)合材料電阻率高，滿足IT和電工行業(yè)的要求。