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固態(tài)參比氧分壓的ZRO2氧傳感器及其制作方法

836   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色網(wǎng)  
2023-03-18 14:59:02
本發(fā)明涉及一種用于汽車發(fā)動(dòng)機(jī)空燃比控制的片式氧傳感器及其制作方法。它是由釔穩(wěn) 定氧化鋯粉體制成的漿料通過(guò)流延工藝成型為薄片坯材,在薄片坯材的雙側(cè)分別絲網(wǎng)印制具 有一定孔隙的Pt電極,在釔穩(wěn)定氧化鋯薄片坯材上通過(guò)二次流延工藝制備固態(tài)氧分壓參比 片,在二次流延層中間,絲網(wǎng)印刷RuO2材料加熱器,該層的厚度為釔穩(wěn)定氧化鋯層的6-7 倍。在在釔穩(wěn)定氧化鋯薄片坯材上的外電極側(cè),流延成型多孔保護(hù)層,最后,將預(yù)制好的基 片生坯按要求尺寸沖壓成條狀,制作電極連接孔,在高達(dá)1600℃的程序升溫過(guò)程中真空燒 結(jié),制成傳感器芯片。此方法充分利用了陶瓷片狀材料流延工藝和漿料電極的絲網(wǎng)印刷工藝, 具有生產(chǎn)工藝環(huán)節(jié)少、產(chǎn)品一致性高、成品率高、造價(jià)低廉的優(yōu)點(diǎn)。
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