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微電子封裝用高可靠性銅合金鍵合絲及其制備方法

886   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-18 14:59:03
一種微電子封裝用高可靠性銅合金鍵合絲,其特征在于其各成分及含量為:Ru?10-50wt.ppm,Nb?10-50wt.ppm,Zr?10-50wt.ppm,Mn?10-50wt.ppm,Mg?10-50wt.ppm,Li?10-50wt.ppm,Dy?10-30wt.ppm,余量為銅及不可避免的雜質,且雜質中的S和O在整個銅合金鍵合絲中的含量≤5wt.ppm。本發(fā)明還提供上述微電子封裝用高可靠性銅合金鍵合絲的一種制備方法。本發(fā)明的銅合金鍵合絲具有可靠性高、硬度低、導電導熱性良好等優(yōu)點,其制備方法操作簡便。
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