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高世代鉬靶材的生產方法

850   編輯:管理員   來源:中冶有色網(wǎng)  
2023-03-18 15:00:02
本發(fā)明公開了一種高世代鉬靶材的生產方法,該生產方法包括:1、將兩種粒徑范圍不同的鉬粉在真空條件下混合,過篩后得到混合粉料;2、將混合粉料進行等靜壓處理;3、燒結處理;4、熱軋?zhí)幚恚?;真空退火;6、水切割、銑削加工、磨床加工。通過該方法得到的鉬靶材的長度可達3500mm以上,厚度≤30mm,寬度≤600mm,平面度小于0.08mm,鉬含量≥99.97%,該生產方法的生產效率高,所得高世代鉬靶材的致密度≥99.5%,鉬靶材內部組織無氣孔、裂紋、分層、夾雜等缺陷,其表面粗糙度<0.6um,平均晶?!?0um,晶粒均勻,可作為G10.5代線平面顯示器生產的高純鉬靶;本發(fā)明提供的高世代鉬靶材的生產方法,制備方法簡單,生產成本較低,成品率高,有利于工業(yè)化生產。
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