本發(fā)明公開了一種迭代水熱法提純石英砂的工藝及高純石英砂。所述工藝包括預(yù)處理、煅燒、過篩、酸浸和清洗的步驟，其中煅燒和酸浸步驟進(jìn)行迭代處理。本發(fā)明以石英砂精礦為原料，在改進(jìn)的水熱法基礎(chǔ)上，通過對(duì)關(guān)鍵步驟的科學(xué)迭代處理工藝，對(duì)石英砂進(jìn)行提純，充分發(fā)揮了高溫煅燒和水熱酸浸過程對(duì)石英砂的純化作用，使雜質(zhì)去除效益得到最大化。本發(fā)明得到的高純石英砂純度不低于99.998%且雜質(zhì)含量低于20ppm，能滿足半導(dǎo)體行業(yè)的使用需求。