本發(fā)明涉及一種旋轉(zhuǎn)硅鎂合金靶材，其純度大于99.9%，鎂含量分別為30wt%、40wt%、50wt%，硅余量。本發(fā)明還公開一種制備旋轉(zhuǎn)硅鎂合金靶材的方法，工藝如下：預(yù)處理：對不銹鋼背管進(jìn)行預(yù)處理，其中包括清洗，噴砂粗化；噴涂粘結(jié)層：即利用電弧噴涂，在不銹鋼背管噴涂一層0.2-0.5mm厚的鎳鋁合金涂層，所述涂層起連接不銹鋼背管和后續(xù)噴涂的靶材材料作用；等離子噴涂沉積硅鎂涂層：利用等離子噴涂設(shè)備將配置好的硅鎂粉熔射沉積在不銹鋼背管上面形成硅鎂涂層。本發(fā)明的靶材安全性能高，而且均勻性好。