一種多層膜結(jié)構(gòu)的薄膜氣體吸收元件及其制造 方法和使用方法。該氣體吸收元件，是在陶瓷支撐體上沉積一 層氣體吸收層，在氣體吸收層上覆蓋一層催化層，陶瓷支撐體 內(nèi)部含 有加熱層，氣體吸收層的組成包括有Ti、Zr、V、La、Y、Ce、 Nd、Nb、Hf和Fe中的至少兩種材料，催化層為催化金屬的合 金薄膜，其含有Pd，和Ag、Ni、Cr、Cu和Al中的至少一種， 以及La、Y、Ce和Nb中的一種稀土元素或它們的混合物，其 中，La、Y可以是單質(zhì)或是其氧化物。陶瓷支撐體為燒結(jié)后陶 瓷多孔支撐體，其比表面積大于 1m2/g。催化層的上面設(shè)有多孔氣 體透過(guò)網(wǎng)，在該吸收元件的外周設(shè)有封裝外殼。采用燒結(jié)方法 制備陶瓷多孔支撐體；采用共蒸發(fā)方法沉積形成氣體吸收層薄 膜；采用共濺射沉積法使氣體吸收層薄膜上覆蓋催化層合金薄 膜。該氣體吸收元件能夠在低溫激活，是性能穩(wěn)定的微型吸氣 劑元件。