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帶石墨烯層的半導(dǎo)體激光器熱沉及其制作方法

889   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色網(wǎng)  
2023-03-18 15:01:02
本發(fā)明涉及一種帶石墨烯層的半導(dǎo)體激光器熱沉,包括從下至上依次沉積的基體材料層、無(wú)氧銅層和石墨烯層,所述基體材料層采用的材料是氮化鋁陶瓷、氧化鋁陶瓷、氧化鋯陶瓷、氮化硅陶瓷、碳化硅或氮化硼中的任意一種。本發(fā)明還對(duì)應(yīng)給出了制作所述熱沉的方法。本發(fā)明采用石墨烯層作為熱沉的散熱材料,充分利用石墨烯熱導(dǎo)率高的物理特性,將半導(dǎo)體激光器工作時(shí)產(chǎn)生的熱量傳導(dǎo)出來(lái)并發(fā)散掉,能夠在不增加半導(dǎo)體激光器重量、體積的情況下,大幅提高半導(dǎo)體激光器的散熱能力,降低半導(dǎo)體激光器工作時(shí)的溫度,保證半導(dǎo)體激光器的光電性能和可靠性,延長(zhǎng)半導(dǎo)體激光器的壽命。
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