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壓接式晶閘管管芯及制作方法

1098   編輯:管理員   來源:中冶有色網(wǎng)  
2023-03-18 15:01:02
本發(fā)明公開了一種壓接式晶閘管管芯及制作方法,包括以下步驟:1)制備晶閘管擴(kuò)散片,2)腐蝕電壓槽,3)電壓槽淀積多晶硅膜或氮化硅膜,4)電壓槽玻璃鈍化,5)刻蝕去除不需要多晶硅膜或氮化硅保護(hù)的大部分陰極面和陽極面區(qū)域的鈍化膜,6)芯片與鉬片的焊接,7)陰極面蒸鋁,8)陰極面鋁層選擇腐蝕,9)鋁層微合金。進(jìn)一步10)管芯陽極面鉬片單面多層金屬化,11)電壓槽涂覆第三保護(hù)層。焊接前對芯片測試,剔除掉不合格芯片,避免了鉬片等浪費(fèi),不合格芯片鉬片經(jīng)過處理后再次利用。電壓槽采用三層保護(hù),降低管芯在高溫動態(tài)下測試的漏電流;鉬片鈦鎳銀多層金屬保護(hù)防止氧化,降低了熱阻和電阻,減少功耗。
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“壓接式晶閘管管芯及制作方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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