本發(fā)明公開(kāi)了一種降低氧化鈮電容器等效串聯(lián)電阻的陰極制備工藝，該工藝步驟主要包括陽(yáng)極芯塊和介質(zhì)膜的加工、陰極半導(dǎo)體的加工、陰極過(guò)渡層的加工及陰極引出層的加工；該工藝將形成介電層的陽(yáng)極芯塊浸漬、脫水、熱分解低濃度和高濃度硝酸錳溶液，通過(guò)在陰極半導(dǎo)體層與陰極引出層間增加一層過(guò)渡層，消除了層間接觸電阻，使電容器的等效串聯(lián)電阻減小20％以上；該工藝由于在熱分解硝酸錳溶液之前采用了脫水工藝，提高了二氧化錳對(duì)陽(yáng)極芯塊內(nèi)部的填充率，而且取消了低濃度與高濃度硝酸錳的交替浸漬、熱分解，使工藝操作更簡(jiǎn)單、效率更高，適合于工業(yè)化大批量生產(chǎn)。