本發(fā)明提供一種高密度低游離硅含量反應(yīng)燒結(jié)碳化硅陶瓷材料的制備方法，該制備方法包括混料、真空除氣、注漿成型、脫模干燥和燒結(jié)處理步驟，其中選取合理的原料粒度級配，并采用壓力注漿成型，增強(qiáng)了產(chǎn)品素坯的密度；在燒結(jié)過程中采用優(yōu)化的燒結(jié)曲線，有機(jī)物排除同預(yù)燒合二為一，在不影響產(chǎn)品質(zhì)量的情況下降低燒結(jié)成本，減少碳化硅陶瓷素坯在高溫排除有機(jī)物過程中發(fā)生的坯體的變形或開裂問題；使高密度坯體能夠在較低溫度下充分反應(yīng)燒結(jié)，生成高密度、低游離硅陶瓷制品，保證了碳化硅陶瓷素坯顯微結(jié)構(gòu)均勻，大大提高了陶瓷材料的強(qiáng)度及結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性。