一種含有摻雜劑元素的石墨靶材的制備方法，它涉及一種石墨靶材的制備方法。它解決了目前傳統(tǒng)方法制備的石墨靶材產(chǎn)生大量宏觀粒子、降低了作為陰極電弧源所制得的非晶金剛石薄膜的質(zhì)量以及高壓石墨靶產(chǎn)生的等離子體束強度弱、熔覆效率低、易裂開以及電阻率高的問題。制備：(一)稱取石墨粉末和摻雜劑元素粉末進(jìn)行球磨；(二)真空干燥混合粉末；(三)抽出塑料橡膠套與鋼性圓筒內(nèi)壁間的空氣；(四)灌粉；(五)預(yù)壓，然后再冷等靜壓；(六)卸壓；(七)燒結(jié)；(八)冷卻，即得到含有摻雜劑元素的石墨靶材。本發(fā)明制備出的含有摻雜劑元素的石墨靶材質(zhì)量密度達(dá)2.06g/cm3，內(nèi)部殘留的氣體少，電弧斑點直徑僅為1～5μm，而且電阻率≤7.8×10－5Ω·cm，所制成的含有摻雜劑元素的石墨靶電弧放電電流穩(wěn)定。