本發(fā)明提供了一種含有缺陷的碳化硅素坯及其制備方法、無損檢測方法，該碳化硅素坯的制備方法包括以下步驟：在制備碳化硅生坯過程中加入固態(tài)有機物，并進行成型；對成型后的碳化硅坯體進行加熱處理以使固態(tài)有機物分解，即得到含有缺陷的碳化硅素坯。本發(fā)明在制備碳化硅生坯過程中加入固態(tài)有機物，并利用高溫加熱處理，使固態(tài)有機物分解成氣體從而將其除去，這樣之后在碳化硅坯體中固態(tài)有機物的位置便會殘留一定的缺陷，該缺陷的形狀大小以及數(shù)量均可控，同時添加的有機物會在高溫處理過程中除掉，并且不會引入新的雜質(zhì)；通過該方法可以在碳化硅素坯內(nèi)部留下缺陷，操作簡便，可操作性強，有利于后期無損檢測工作的進行。