本發(fā)明公開(kāi)了一種有機(jī)?金屬納米復(fù)合薄膜及其制備方法和應(yīng)用，屬于復(fù)合材料技術(shù)領(lǐng)域。有機(jī)?金屬納米復(fù)合薄膜由基底層和氟碳?鈦復(fù)合薄膜層組成。制備方法為：打磨聚四氟乙烯靶材和鈦靶材，清洗；然后進(jìn)行預(yù)濺射；利用共濺射在基底層表面沉積氟碳?鈦復(fù)合薄膜；然后進(jìn)行高溫退火，即可。本發(fā)明的有機(jī)?金屬納米復(fù)合薄膜的制備方法，通過(guò)采用射頻?直流共濺射，改變薄膜沉積狀態(tài)的變化以調(diào)控納米級(jí)表面形貌、化學(xué)組分含量；通過(guò)調(diào)整高溫退火工藝以調(diào)控薄膜結(jié)晶度，使制得的復(fù)合薄膜表現(xiàn)出不同的浸潤(rùn)性能和二次電子發(fā)射特性，且具有純度高、沉積面積大、物相結(jié)構(gòu)高度可控等優(yōu)點(diǎn)，從而使其應(yīng)用廣泛，具有顯著的推廣實(shí)用價(jià)值。