本發(fā)明公開了一種分子牽引型真空動密封結(jié)構(gòu)和超高速真空旋轉(zhuǎn)設(shè)備,該分子牽引型真空動密封結(jié)構(gòu)用于轉(zhuǎn)子和真空腔室二者之間的動密封,所述轉(zhuǎn)子的密封面和所述真空腔室的密封面二者之間形成密封間隙,所述真空腔室的密封面上設(shè)有導(dǎo)引槽,所述導(dǎo)引槽的出口與排氣腔連通,其中,高速旋轉(zhuǎn)的所述轉(zhuǎn)子將動量傳遞給氣體分子,所述氣體分子在所述導(dǎo)引槽內(nèi)被牽引至所述排氣腔中排出。本發(fā)明利用線速度達(dá)到分子熱運(yùn)動速度的剛體表面對氣體分子的牽引作用,實(shí)現(xiàn)超高速旋轉(zhuǎn)條件下對大直徑真空室的真空動密封。利用該結(jié)構(gòu),可以實(shí)現(xiàn)大直徑轉(zhuǎn)子超高速旋轉(zhuǎn)時,裝置兩端的氣壓從105Pa到10?7Pa的跨越。
聲明:
“分子牽引型真空動密封結(jié)構(gòu)和超高速真空旋轉(zhuǎn)設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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