本發(fā)明涉及真空泵技術(shù)領(lǐng)域,是一種小抽速無(wú)油渦旋真空泵,具有結(jié)構(gòu)緊湊,體積小,極限壓力低等特點(diǎn),抽速為4L/s。本發(fā)明所述的轉(zhuǎn)子渦旋盤為三點(diǎn)定位結(jié)構(gòu),依靠均布的三個(gè)曲柄軸部件使轉(zhuǎn)子渦旋盤繞定子渦旋盤沿固定圓軌跡平動(dòng),完成抽氣過(guò)程。所述的渦旋盤表面經(jīng)硬質(zhì)氧化處理并噴涂特氟隆。所述的密封墊片采用特氟隆材料。本發(fā)明是干式真空泵的一種,清潔度高,適用于半導(dǎo)體、科學(xué)儀器、精細(xì)化工、醫(yī)療等行業(yè)。