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圖案形成方法及多層布線結(jié)構(gòu)形成方法

1136   編輯:管理員   來源:中冶有色網(wǎng)  
2023-03-18 15:02:22
本發(fā)明提供了一種圖案形成方法,該方法包括(I)在表面上設置與基板直接化學結(jié)合的接枝聚合物,制造基板的接枝聚合物生成步驟、(II)通過液滴噴出法,按照預定的圖案形狀,在生成上述接枝聚合物的表面上配置將粒子分散在液體(分散介質(zhì))中形成的分散液液滴的粒子分散液配置步驟和(III)從上述配置的液滴中蒸發(fā)掉液體(分散介質(zhì)),按照預定的圖案形狀在上述基板上形成由粒子構(gòu)成的層的粒子圖案形成步驟。
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