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大口徑高真空油擴(kuò)散泵

780 編輯：管理員來源：中冶有色網(wǎng)

2023-03-18 15:02:22

本發(fā)明公開了一種擴(kuò)散泵，特別是涉及一種大口徑高真空油擴(kuò)散泵，它適合應(yīng)用于真空爐、真空鍍膜機(jī)。大口徑高真空油擴(kuò)散泵，它包括泵體、設(shè)置在泵體內(nèi)的泵芯組件，其中加熱器設(shè)置在泵體底部、泵體的排氣口內(nèi)設(shè)有擋油裝置，泵體采用了凸腔結(jié)構(gòu)，泵芯組件垂直安裝在泵體內(nèi)中心油槽內(nèi)，泵芯組件結(jié)構(gòu)是由內(nèi)至外依次設(shè)置一級(jí)導(dǎo)流管、二級(jí)導(dǎo)流管和三級(jí)導(dǎo)流管構(gòu)成整體結(jié)構(gòu)，各級(jí)導(dǎo)流管上部均設(shè)有傘帽形擴(kuò)散噴嘴，噴射噴嘴垂直焊接在三級(jí)導(dǎo)流管的底部，一級(jí)導(dǎo)流管的高度比二級(jí)導(dǎo)流管高，二級(jí)導(dǎo)流管的高度比三級(jí)導(dǎo)流管高。本發(fā)明具有大口徑、極限真空度高、抽氣速率高、返油率低、耗電量低的特點(diǎn)。

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