一種用于EUV投射曝光設(shè)備的照明光學(xué)單元(4),具有光闌(23),光闌包括具有離散對稱組的輻射透射區(qū)域。光闌(23)的形狀適配于光瞳分面反射鏡(18)的分面形狀或輻射源(3)的形狀。光闌(23)優(yōu)選地布置在中間焦平面的區(qū)域中。
聲明:
“照明光學(xué)單元” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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