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照明光學(xué)單元

1204   編輯:管理員   來源:中冶有色網(wǎng)  
2023-03-18 15:02:23
一種用于EUV投射曝光設(shè)備的照明光學(xué)單元(4),具有光闌(23),光闌包括具有離散對稱組的輻射透射區(qū)域。光闌(23)的形狀適配于光瞳分面反射鏡(18)的分面形狀或輻射源(3)的形狀。光闌(23)優(yōu)選地布置在中間焦平面的區(qū)域中。
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