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電離-真空測量單元

1220   編輯:管理員   來源:中冶有色網(wǎng)  
2023-03-18 15:02:25
一種電離-真空測量單元包括:a)帶有用于待測量的真空的測量接口(8)的可抽真空的殼體(10);b)外部的第一電極和內(nèi)部的第二電極(3,4),其以共同地軸線(7)彼此同軸地且相間隔地布置,由此在這兩個電極之間構(gòu)造有測量室(20),其與測量接口(8)連通;c)電壓源(16),其與電極(3,4)相連接;d)電流測量器件(17),用于評估在電極(3,4)之間構(gòu)造的放電電流;e)至少一個永磁體環(huán)(1),其包圍電極(3,4)的同軸組件,帶有徑向于軸線取向的磁化方向(13)且?guī)в邪鼑撚来朋w環(huán)(1)的軟磁軛(2),其中,軛(2)在軸向上在兩側(cè)引導遠離永磁體環(huán)(1)并且在與永磁體環(huán)(1)的預設(shè)的間距(d)之后在兩側(cè)上在徑向上朝向軸線(7)和第一電極(3)來引導,這樣使得軛(2)在兩側(cè)、與永磁體環(huán)(1)相間隔地構(gòu)造兩個環(huán)形的極(9a,b),永磁體環(huán)(1)的場線的至少一部分經(jīng)由其在測量室(20)內(nèi)穿過電極(3)地閉合。
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