本發(fā)明提供了一種難降解工業(yè)有機廢水深度處理裝置及方法，所述裝置包括臭氧催化氧化單元、生化處理單元和鐵碳內電解單元，所述鐵碳內電解單元置于所述臭氧催化氧化單元和所述生化處理單元之間。該處理裝置可深度脫除工業(yè)有機廢水經(jīng)生化處理后殘存的大分子難降解有機物和硝酸根氮，處理后的出水CODcr<50mg/L、總氮<20mg/L、色度為低于20倍，出水水質穩(wěn)定，并且達到國家各類工業(yè)廢水排放標準，解決了難降解工業(yè)有機廢水在國內難處理的現(xiàn)狀；所述處理裝置的流程簡單、緊湊、高效、運行成本低、抗沖擊負荷能力強，便于推廣應用，處理后的泥水分離快，生成的污泥沉降性能好、產(chǎn)量少。